【摘 要】
：
采用RF平面磁控溅射技术在单晶AlO衬底上淀积了ZnO薄膜.研究了ZnO薄膜的结构特性及电学性能,XRD结果表明:在AlO衬底上沉积的ZnO薄膜是高度C轴取向的.电阻率测试结果表明:在纯
【机 构】
：
湖北大学物理学与电子技术学院(武汉)
【出 处】
：
湖北省物理学会·武汉物理学会成立70周年庆典暨2002年学术年会
论文部分内容阅读
采用RF平面磁控溅射技术在单晶Al<,2>O<,3>衬底上淀积了ZnO薄膜.研究了ZnO薄膜的结构特性及电学性能,XRD结果表明:在Al<,2>O<,3>衬底上沉积的ZnO薄膜是高度C轴取向的.电阻率测试结果表明:在纯氧中高温退火,薄膜的电阻率提高到10<7>Ω·cm量级.对于ZnO Al<,2>O<,3>结构的SAW器件,随着薄膜厚度的减小,其机电耦合系数降低,但声表面波速率增加.
其他文献
如果说那些大块头、高质量的大型广播级、专业级摄像机是长枪大炮的话,像AS15这样的不足巴掌的佩戴式DV就是摄像机里的尖刀匕首。用来拍摄极致的动感体验,带给人们与众不同的
The use of interactive imagery to capture, convey and conjure—in many ways both an art and a science—is a field of growing importance and relevance. At a fund
目的：观察去卵巢骨质疏松症大鼠骨密度及血清钙磷含量，探讨绝经后骨质疏松症的发病机制以及补肾中药复方的作用机制。方法麻醉状态下手术摘除卵巢复制骨质疏松症大鼠模型，实验设
目的探讨纳米载银磷酸锆无机抗菌剂加入硅橡胶软衬材料的抗菌性能。方法测定添加5%和10%载银磷酸锆的硅橡胶软衬材料对金黄色葡萄球菌、大肠杆菌、枯草杆菌、白色念珠菌的抗
目的研究提高眼科专科门诊测视力效率的对策。方法对科室存在的相关问题进行归纳、分析；对患者采取抽样调查，高峰期与非高峰期各选取门诊患者100名，根据自行设计的问卷，对测视力
全球进入构建医疗大数据共享平台的热潮，中国也不例外，虽然起步较晚，存在着诸多问题，但可以利用日益发展的大数据技术，在政府的支持下，制定完善的创新管理策略来构建有中国特色的医
在用X射线荧光分析法时,由于粉末样品的粒度、密度及与结晶构造等有关的矿物效应的影响十分严重,必须通过严格的样品制备来解决;本文讨论该法中影响分析精度的若干因素及解决
目的通过临床见习模式的构建，使学生能够了解临床工作的性质，培养临床思维能力，提高课堂教学质量。方法根据见习内容及教学目标的的不同联系相关科室带教老师，将2010级和2009级相
目的:研究河南林县55岁以上人群及阿尔茨海默病(AD)和帕金森病(PD)认知水平和日常生活能力的损害情况.方法:在一个年龄超过55岁的队列人群中进行交叉横断研究,这些55岁以上人
含有活泼氢化合物的乙氧基化和丙基化的化工产品是一重要的精细化工产品.本文论述了国内乙氧基化生产现状、装置类型,介绍了国产新型乙氧基化反应器和新建装置.