【摘 要】
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研制了新型三维网格阵列微电极生物传感器介电泳芯片,考虑了半导体分离元件和微全分析系统兼容的问题,设计成可按行、列寻址的形式,并采用了介电泳阻抗方法把分离单元和检测单元集合起来.在2*2cm2的芯片表面上产生1.2*105个负介电泳势笼和4*104个正介电泳势笼,可以满足高通量筛选的要求.经过实验验证,芯片不论是在单个微粒分选,还是在多微粒并行操纵方面都能达到预期效果.对芯片进行了阻抗测量实验,对阻
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,北京100190 中国科学院微电子学研究所,北京100029
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
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研制了新型三维网格阵列微电极生物传感器介电泳芯片,考虑了半导体分离元件和微全分析系统兼容的问题,设计成可按行、列寻址的形式,并采用了介电泳阻抗方法把分离单元和检测单元集合起来.在2*2cm2的芯片表面上产生1.2*105个负介电泳势笼和4*104个正介电泳势笼,可以满足高通量筛选的要求.经过实验验证,芯片不论是在单个微粒分选,还是在多微粒并行操纵方面都能达到预期效果.对芯片进行了阻抗测量实验,对阻抗测试数据通过等效电路法提取特征参数后,微粒的浓度大小可以表征.
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