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该文介绍了两种新颖的微机械传感器－谐振式微机械陀螺和静电伺服加速度传感器的制作工艺和测试结果，研究表明该传感器工艺简单易控，适合于大批量生产，有很好的应用前景。
传感器新结构研究--谐振式微机械陀螺和静电伺服加速度传感器
【摘 要】
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该文介绍了两种新颖的微机械传感器－谐振式微机械陀螺和静电伺服加速度传感器的制作工艺和测试结果，研究表明该传感器工艺简单易控，适合于大批量生产，有很好的应用前景。
【机 构】
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大学信电系
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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