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针对非极性航空航天涂层厚度检测的需求,开展基于太赫兹技术的反射式涂层厚度方法的研究,提出了一种"台阶"测厚的新方法,大大减小反射式测厚中基底位置不一致带来的误差,并与传统"台阶"测厚方法进行了对比,测厚后精度明显提高,精度优于20μm,为太赫兹测厚系统提供了技术支持。
太赫兹时域光谱系统测厚方法的研究
【摘 要】
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针对非极性航空航天涂层厚度检测的需求,开展基于太赫兹技术的反射式涂层厚度方法的研究,提出了一种"台阶"测厚的新方法,大大减小反射式测厚中基底位置不一致带来的误差,并与传统"台阶"测厚方法进行了对比,测厚后精度明显提高,精度优于20μm,为太赫兹测厚系统提供了技术支持。
【机 构】
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中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
【出 处】
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第十六届中国航空测控技术年会
【发表日期】
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2019年01期
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