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本文介绍了对本征氢化非晶硅材料进行恒定光电导测量,然后通过计算得到材料的吸收特性曲线。从而分析材料的缺陷态密度等性能。文中针对薄膜制备过程,对沉积压强、衬底温度不同的材料的性能进行了分析,优化得到了制备太阳电池所需的最佳工艺参数。最后结合其他测量方法对与材料采用相同制备工艺的太阳电池的性能进行了具体分析。