【摘 要】
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集成应力传感测试芯片是测量片上应力分布的有力工具.本文研究基于(111)硅片的全分量MOSFET应力传感器.相比于压阻型,MOSFET具有灵敏度高、占用面积小、与传统CMOS工艺兼容的
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,北京,100084
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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集成应力传感测试芯片是测量片上应力分布的有力工具.本文研究基于(111)硅片的全分量MOSFET应力传感器.相比于压阻型,MOSFET具有灵敏度高、占用面积小、与传统CMOS工艺兼容的优点.本文讨论了一种制作在(111)型硅片上的MOSFET型集成电路封装应力测试单元的设计.这种单元共有八个MOS晶体管,包括四个n型MOS晶体管和四个p型MOS晶体管,通过对八个晶体管进行合理的排布,使之具有除了上述优点之外,还能够对一个状态点全部六个应力分量进行测量.
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