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直拉法单晶硅生长中的流动及其影响
直拉法单晶硅生长中的流动及其影响
来源 :第十届中国太阳能光伏会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kxh8l
【摘 要】
:
总结了熔体中生长直拉硅单晶的基本控制要求,讨论了Cz法单晶生长中的各种流动及其对硅单晶生长的影响。借助于计算机模拟结果,显示了几种抑制热对流、优化单晶生长条件的方法
【作 者】
:
左然
Vladimir Kalaev
张东亮
汪钉崇
【机 构】
:
江苏大学能源动力学院
【出 处】
:
第十届中国太阳能光伏会议
【发表日期】
:
2008年期
【关键词】
:
直拉法
单晶硅生长
流动
硅单晶生长
直拉硅单晶
生长条件
模拟结果
控制要求
热对流
计算机
总结
优化
抑制
讨论
熔体
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总结了熔体中生长直拉硅单晶的基本控制要求,讨论了Cz法单晶生长中的各种流动及其对硅单晶生长的影响。借助于计算机模拟结果,显示了几种抑制热对流、优化单晶生长条件的方法。
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