【摘 要】
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弛豫铁电单晶PMN-PT的压电系数(d33～2500Pc/N)、机电耦合系数(k33～94﹪)和应变量大大高于常用的PZT压电陶瓷,是新一代高效能压电传感器和执行器的理想材料.压力稳定性是设计传感器和评定其应用范围的重要参数.本文研究了弛豫铁电单晶的性能受环境压力的影响,采用耐压密闭油腔对晶片施加静压力,实验测试了PMN-PT(67/33)的介电常数和谐振频率随压力的变化,结果表明介电常数随静水压
【机 构】
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北京信息工程学院,北京,100101 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,201800
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
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弛豫铁电单晶PMN-PT的压电系数(d33～2500Pc/N)、机电耦合系数(k33～94﹪)和应变量大大高于常用的PZT压电陶瓷,是新一代高效能压电传感器和执行器的理想材料.压力稳定性是设计传感器和评定其应用范围的重要参数.本文研究了弛豫铁电单晶的性能受环境压力的影响,采用耐压密闭油腔对晶片施加静压力,实验测试了PMN-PT(67/33)的介电常数和谐振频率随压力的变化,结果表明介电常数随静水压的增大缓慢增加,压力在10MPa内其相对变化小于2﹪,介质损耗均小于0.01,谐振频率保持稳定.
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