背散射电子衍射是扫描电子显微镜中既古老又崭新的一门技术。早在上世纪50年代,欧洲一些学者就开始扫描电子显微镜中的背散射电子衍射学实验-电子通道花样的研究。现代全自动背散射电子衍射技术的推广和普及始于1995年左右。全自动化背散射电子衍射的出现使得使用者从极少数晶体学家扩展到广大材料学家。全自动化背散射电子衍射在晶粒尺寸、晶界特征、晶粒和亚晶粒取向空间分布、快速相鉴定等领域应用日益广泛。近来,配合原位外场下作用,人们开始关注用背散射技术原位研究热诱发及应变诱发相变过程。这在很大程度上弥补了透射电镜只适用于薄膜样品,普通X-射线衍射没有空间分辨能力的尴尬局面。可以大胆地预测,全自动及半自动背散射电子衍射技术将以其操作简便、成本低廉、数据准确等优势在相变、弹塑性转变等研究方面扮演越来越重要的角色。本文介绍我们用背散射电子衍射技术原位研究TiNi记忆合金中应力诱发马氏体相变的最新进展,展示背散射电子衍射技术在原位研究应力诱发相变及弹塑性转变中的可能应用。