基于激光纳米加工的光电光子器件制备与集成[特邀报告]

来源 :中国光学学会纤维光学与集成光学专业委员会全国第15次光纤通信暨第16届集成光学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dx3386136
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  飞秒激光微纳加工是一种利用光与物质非线性相互作用,实现微纳尺度、纳米精度结构与器件的方法。特别是利用飞秒激光作为加工光源对透明介质材料进行加工,可以实现基于多种功能材料的复杂三维结构;利用飞秒激光诱导金属离子淀积,可以实现深亚波长金属阵列结构;利用纳米激光进行简单的多光束相干烧蚀,能够对聚合物等难以实施光刻的材料进行精密图案化加工等。这种独特的加工能力可使激光纳米加工成为半导体平面工艺的重要补充,为制备新原理的光电光子器件提供了新路径。本报告将重点介绍报告人近一年来在如上方向的探索和最新研究结果。具体内容包括:有机晶体DFB微腔激光器、激光染料掺杂的有机微盘激光器(图一)、具有较强调谐能力的蛋白光子器件、性能优异的有机发光器件,表面等离子增强拉曼散射衬底的制备,以及对于表面等离子能量传递与强耦合动力学的研究等。
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