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Effect of Substrate Bias Voltage on Corrosion Behavior of TiNx Thin Films Deposited by Magnetron Spu
【机 构】
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Insititue of Surface Engineering, Shenyang University, Shenyang 110044, China
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
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2011年期
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