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四极质谱检漏法是灵敏度最高的检漏方法之一,广泛应用于航天、电子、制冷等行业。四极质谱检漏仪是通过一个校准漏孔进行标定的,校准漏孔的漏率值是否准确,则是通过溯源至国家漏率标准来保证。
石英渗氦型校准漏孔随温度变化性能的研究
【摘 要】
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四极质谱检漏法是灵敏度最高的检漏方法之一,广泛应用于航天、电子、制冷等行业。四极质谱检漏仪是通过一个校准漏孔进行标定的,校准漏孔的漏率值是否准确,则是通过溯源至国
【机 构】
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中国计量科学研究院;
【发表日期】
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2004年期
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