【摘 要】
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表面增强拉曼散射(SERS)具有灵敏度高、选择性好、分析速度快、适用环境广等优点,进而在多个领域有着潜在的应用。然而,目前SERS传感基底的制备方法大多存在工艺复杂、兼
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京,100029
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
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表面增强拉曼散射(SERS)具有灵敏度高、选择性好、分析速度快、适用环境广等优点,进而在多个领域有着潜在的应用。然而,目前SERS传感基底的制备方法大多存在工艺复杂、兼容性差、结构不均匀等问题。本文提出了一种基于纳米柱森林结构的新型SERS传感基底,其中纳米柱森林结构的制备利用了多晶硅表面的不平整性与侧墙工艺,其制备过程仅涉及两次材料淀积与单步刻蚀,工艺简单便捷且与常规微加工工艺完全兼容,又具有高可调控性。初步测试结果表明,该基于纳米柱森林结构的SERS传感基底其增强因子达到105,可以满足多方面的应用需求。
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