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射频微机电系统(RF MEMS)开关是基于MEMS技术的微波信号变换的关键元件，开关的可靠性及失效问题是决定其能否最终成功应用的关键，也是目前研究的热点问题之一。本文介绍了RF MEMS开关的可靠性问题，详细探讨了串联电阻式开关和并联电容式开关的失效模式及失效机理，并对今后RF MEMS开关可靠性方面的工作进行了展望。