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基于MOCVD高性能InP基2~3μm量子阱激光器
基于MOCVD高性能InP基2~3μm量子阱激光器
来源 :第十届全国激光技术与光电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dzf2006
【摘 要】
:
我们报道利用金属有机化学气相沉积技术制备高性能的2~3 μm InAs/InGaAs/InP 量子阱激光器。
【作 者】
:
罗帅
季海铭
高凤
许锋
杨晓光
王占国
杨涛
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,北京100083
【出 处】
:
第十届全国激光技术与光电子学学术会议
【发表日期】
:
2015年期
【关键词】
:
MOCVD
高性能
InP
化学气相沉积技术
量子阱激光器
金属有机
InGaAs
制备
InAs
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我们报道利用金属有机化学气相沉积技术制备高性能的2~3 μm InAs/InGaAs/InP 量子阱激光器。
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