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本文研究了P型(100)直拉单晶硅片的碘酒/乙醇溶液钝化技术。首先比较了HF和碘酒/乙醇溶液钝化，发现碘酒/乙醇溶液钝化具有更高的少子寿命。接着通过仔细的前清洗流程，优化的浓度为0.01mol/L的溶液，获得了非常好的钝化效果。125 μm 2 Ω·cm单晶硅片少子寿命可以达到124 μs，表面复合速率小于50 cm/s。经过该方法钝化的硅片的有效寿命比较高，对我们准确监控硅片的质量具有重要的意义。