论文部分内容阅读
存储器件是今天信息产业的前提。随着器件尺寸的越来越小,低于100nm,电子器件的微型化是半导体行业面临的挑战。为了克服基于电荷存储的传统半导体存储器件的限制,各种新型的的非易失性存储器件(NVM)如雨后春笋般涌现,其中包括磁随机存取存储器(MRAM)、相变随机存取存储器(PRAM)及电阻随机存储器(RRAM)。在这些存储器件中,RRAM,因为其简单的组成结构、低能耗、高的转换速率及高密度集成,越来越吸引人的注意力,被认为是下一代通用存储器的强大候选之一。某些材料室温下具有开关存储的性能更为符合能源节