【摘 要】
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为引领未来制造业的发展趋势,推动智能装备业的发展,我国提出“中国制造2025”强国战略,物联网、智能化和网络制造一体化被列为优先发展的三大领域。在此背景下,对老旧设备的优化升级来革新制造现场,不仅可以节约大笔新设备的采购费用,还可以提升产品的品质。电子束镀膜机的发展与计算机技术的发展密切相关。本文在深入研究电子束镀膜工艺原理和控制流程的基础上,针对目前电子束蒸发设备控制系统常规PID参数整定不足、
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为引领未来制造业的发展趋势,推动智能装备业的发展,我国提出“中国制造2025”强国战略,物联网、智能化和网络制造一体化被列为优先发展的三大领域。在此背景下,对老旧设备的优化升级来革新制造现场,不仅可以节约大笔新设备的采购费用,还可以提升产品的品质。电子束镀膜机的发展与计算机技术的发展密切相关。本文在深入研究电子束镀膜工艺原理和控制流程的基础上,针对目前电子束蒸发设备控制系统常规PID参数整定不足、自动化操控能力差、真空系统管理不量化、设备信息孤岛等问题,从软件、硬件两方面进行了研究,设计了以IQM-233薄膜沉积PCIe扩展卡为核心的电子束真空镀膜控制系统。为解决石英晶体传感器的突发失效问题,实现了双晶振片的自动切换的功能;针对蒸发源系统的非线性特性,提出采用模糊PI参数在线整定的设计方案;为适应对旧系统的改造兼容性,在人机界面上实现控制变量与I/O区域内存地址之间的可变映射;在物联网方面,本文基于Web Service架构研究了EAP（Equipment Automation Program）功能的实现,使控制系统以一种简便高效的方式融合到CIM（Computer Integrated Manu-facturing）系统中。通过在线功能测试和实际试运行表明,该电子束真空镀膜系统工艺运行稳定,蒸发速率的波动性得到了较好的抑制,与MES系统建立了互通,实现了控制领域从过程控制系统（PCS）到生产执行系统（MES）的延伸,该控制系统在工程智能化应用方面取得了一定的进展,具有非常重要的实际意义。
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