主动光学技术是一种波面校正技术,用于消除光学望远镜受重力和温度等因素引起的形变,而大型天文望远镜子镜之间微小位移的测量是主动光学系统自动调节的关键。截止目前,微小位移测量的传感器技术难度较大,发展缓慢。因此,本文以主动光学技术的应用为研究背景,探讨并设计了微位移传感器的系统软件。本文设计的微位移传感器采用差分变面积型的极板结构,并设置参考传感器,在与测试传感器驱动一致的情况下,利用差分消除非测量因素的影响。以Xilinx公司Spartan-6 XC6SLX9的FPGA芯片为核心,完成了驱动信号的产生模块,包括传感器极板的驱动信号、ADA2200芯片的同步解调信号以及AD7988-1芯片的驱动信号;基于I2C协议对寄存器进行参数的写入配置,完成了ADA2200芯片的解调控制模块;基于SPI协议对芯片的接口进行配置,完成了AD7988-1芯片的A/D转换模块;完成了基于网络单片机W7100A的数据以太网传输模块,包括FPGA与网络单片机的接口配置以及基于TCP/IP协议的上位机传输模块配置。通过程序调试和实验表明,这些模块实现了预想的功能,为微位移传感器系统的正常工作打下了良好的基础。