MOCVD是金属有机化学气相沉积技术的简称,即通过MOCVD设备,在衬底上生长材料晶体的一种方法.用这种方法生长出来的晶体可用于各种芯片的制造.这是当前研制新型光电材料的重要方法之一.在生长晶体过程中,既要频繁调整某些气体的流量又要切换多种流路开关,这给手工操作带来了很大的难度及不便,使之较容易出错.另外,手工操作生长出来的晶体的均匀度也不十分理想.故而随着计算机应用的不断发展,我们在MOCVD系统中引入了计算机控制,实现了用微机控制MOCVD生长的全过程.本论文详细介绍了MOCVD计算机控制系统的设计及实现方法,重点论述了其中的软件设计与实现方法.第一章简要介绍了MOCVD技术、MOCVD设备的国内外现状以及我所自行组装的低压MOCVD系统的结构.第二章介绍了MOCVD计算机控制系统的总体设计.包括系统设计的意义和系统的功能需求.第三章介绍了MOCVD计算机控制系统的硬件设计方案.第四章和第五章详细介绍了MOCVD计算机控制系统的软件设计方案和实现方法.首先,采用Delphi 3.0+嵌入式汇编+Windows的多线程机制,完成了通信程序和实时生长材料曲线图,使通讯效率大大提高.其次,在数据库设计中,通过BDE(Borland数据库引擎),连接到FoxPro 6.0中获取数据,并解决了程序执行中不能彻底删除数据库记录的问题.并充分利用Delphi 3.0的强大的面向对象设计的功能,开发出了良好、直观、易于操作的用户界面.在论文的最后,总结了本系统的几个重要特点,它将为将来功能更为完善的MOCVD系统设计计算机控制打下良好的基础.