针对现代引信微型化、智能化、一体化的发展趋势,根据中大口径榴弹的应用环境,研究了引信MEMS安全系统。对安全系统中安全和解除保险机构,通过有限元仿真和样机实验相结合的研究方法,开展了对MEMS安全和解除保险机构的动态特性研究。分析了安全系统基本要求和引信环境力,对MEMS安全系统整体设计方案及工作原理进行了说明,确定了MEMS安全系统环境识别、体积和抗高过载等性能指标。MEMS安全和解除保险机构采用多层UV-LIGA工艺、金属镍材料,分立为基板框架、微弹簧、后坐保险机构、离心保险机构、隔爆滑块加工,经过微装配形成。对同一批次加工的MEMS保险机构样机的关键结构尺寸进行了测量,并与设计值进行了对比,确定了各保险元件的工艺误差;结合UV-LIGA工艺流程中的曝光、显影电铸和腐蚀等阶段,分析了误差产生机理,并总结了减少样机制作工艺误差的方法。对MEMS安全和解除保险机构整体及各个功能部件的可行性与功能性进行了测试,搭建离心试验与冲击试验平台;采用样机试验和有限元仿真相结合的方法,将试验环境转化为模拟载荷引入有限元仿真,将模拟测试结果与仿真结果对比分析,验证了安全和解除保险机构各部件的功能性以及整体抗高冲击性能。搭建了高速光学试验平台,采用逆光照明方法,实现了MEMS闭锁机构在冲击环境、高帧频、非周期的瞬态运动的可视化测试;通过对微尺寸运动瞬间的记录,验证了闭锁机构的功能性;验证了闭锁机构碰撞过程中L型闭锁梁的变化过程。根据对MEMS安全和解除保险机构的研究工作,对其中后坐保险机构提出了改进方案;对微装配过程的操作复杂、易造成结构变形和加工成品率低等不足,提出基于UVLIGA工艺与精密机械加工工艺的混合工艺制作方案。