【摘 要】
:
如今,随着产业对更高密度及性能集成电路的迫切要求,栅介质层的厚度正不断的缩小。传统的siO2栅介质由于不可接受的高栅泄漏电流也逐渐达到其使用的极限,作为可使用代替SiO2的各种高K介质材料成为研究的热门对象,然而高K介质材料又会带来其与多晶硅栅电极不匹配的问题,比如阈值电压漂移、费米能级的钉扎效应、对多晶硅膜沉积温度的依赖、栅极电阻过大、硼穿通现象和多晶硅栅耗尽效应,以及多晶Si与高K栅介质直接接
论文部分内容阅读
如今,随着产业对更高密度及性能集成电路的迫切要求,栅介质层的厚度正不断的缩小。传统的siO2栅介质由于不可接受的高栅泄漏电流也逐渐达到其使用的极限,作为可使用代替SiO2的各种高K介质材料成为研究的热门对象,然而高K介质材料又会带来其与多晶硅栅电极不匹配的问题,比如阈值电压漂移、费米能级的钉扎效应、对多晶硅膜沉积温度的依赖、栅极电阻过大、硼穿通现象和多晶硅栅耗尽效应,以及多晶Si与高K栅介质直接接触促进界面反应等。研究表明,高K介质材料与多晶硅不兼容的问题可以有效地通过用金属栅电极代替多晶硅栅电极来解决。那么,金属栅/高K栅介质结构的MOs器件的研究和应用是微电子科学技术发展的必然。本文主要采用了第一性原理方法,研究了表面合金化、自旋取向、原子吸附对金属栅电极磁性和功函数的影响。本文共分五个部分:第一部分,介绍了本课题的研究背景,包括高K介质材料代替Si02作为栅介质的必然性、金属栅电极替代多晶硅的必要性和所面临的困难以及现阶段功函数的主要调制方法。此外,还详细介绍了本文所用的第一性原理计算方法的基本理论和VASP软件包。第二部分,研究了自旋极化,自旋取向以及表面合金化对Fe(001)和Fe1-xMnx/Fe(001)的磁性和功函数的影响。计算结果表明自旋取向和表面合金化对Fe1-xMnx/Fe(001)的功函数和原子磁矩都有很大影响。发现功函数并不是由简单的金属电负性决定,应该还与系统具体的自旋组态有关。无磁状态下Fe1-xMnx/Fe (001)的功函数对掺杂的浓度比较敏感。而磁性状态下,功函数随掺杂浓度的变化改变并不明显。第三部分,研究了表面原子自旋取向及表面吸附碳原子对Mn/Fe(001)面的磁性及功函数的影响。发现自旋组态对体系的功函数和磁性都有很大的影响。与此同时C的吸附浓度对两种组态体系的功函数都有很大影响。接着,我们研究了Fe1-xGdx/Fe(001)磁性和功函数的影响。计算结果显示,Gd掺杂Fe(100)使表面体系的结构产生了很大的变化这直接导致了体系中Gd-Fe耦合方式的改变。随着Gd掺杂浓度的提高,体系表面原子的平均磁矩,费米面,功函数基本都遵循一定的规律变化。基于理论的分析和讨论,发现体系功函数及磁性的变化主要决定于费米面的变化,电子的转移及表面结构的变化。最后,我们对研究工作进行了总结。
其他文献
本学位论文研究几类微分方程边值问题解的存在性及解的渐近行为.主要包括:二阶半线性奇摄动边值问题解的存在性及解的渐近行为,分自治、非自治两种情形进行讨论;四阶微分方程两点边值问题与周期边值问题解的存在性等.本学位论文分四章:第一章为绪论.本章给出了奇异摄动研究的一些基本概念,包括奇异摄动与正则摄动、法向双曲条件与稳定性条件等;同时,本章陈述了奇异摄动研究的相关进展及其本文的主要研究工作.第二、三章研
Bazzoni S.和Crivei S.已经对单边正合范畴的同调性质展开了研究,并得到许多漂亮的结果.本文将进一步研究单边正合范畴的局部化范畴、若干同调性质及其对平凡扩张、函子范畴和商范畴的保持问题.本文共分二个部分.第一部分是绪论部分,阐述了单边正合范畴的历史背景及发展动态,第二部分共有四章.第一章,利用范畴局部化的方法,证明在一定条件下,右正合范畴的局部化范畴仍然是右正合范畴.并研究了右正合范
Weyl型定理不同角度的研究一直都是泛函分析算子理论的热门课题,具有许多积极意义.多年来众多学者的深入探讨与不懈努力都极大地发展了这一体系.本论文主要是在这一背景下,对Banach空间上Weyl型定理及其延伸性质进行相关探讨.本论文共有三章内容:第一章在Banach空间中定义了一类新算子并通过它来研究Weyl型定理;第二章在Banach空间中对Weyl型定理及其延伸性质的直和问题进行了系统的讨论归
近年来,许多国际知名学者对Weyl型定理进行了一系列深入的研究,引领了一股Weyl型定理研究热.本学位论文主要是在这一背景下,研究了Banach空间上Weyl型定理的一些相关内容.本论文共有四章的内容.第一章从Banach空间上的算子谱的精细结构出发,分别描述了近似点谱和满谱的谱结构;第二章,我们新定义了一类Weyl型定理的推广性质.同时研究了这些新性质与Weyl型定理之间的关系,并探讨了它们的摄
自1972年中美关系"破冰"以来,美国国家安全战略视阈之内的中美关系经历了1972—1989年、1989—2017年以及2017年之后三个阶段。在这三个阶段中,制衡、塑造与争胜先后成为美国对华战略的逻辑核心。在第一阶段,美国对华的国家安全战略逻辑是"借重以制衡",即借助中国来平衡苏联,中国在20世纪80年代一度被美国视为"友好的非盟国"。在持续时间最长的第二阶段,美国的国家安全战略逻辑是通过"接触
作为基于群论中交错群An的Cayley图,交错群图AG。可以用于多处理机系统的互连网络的拓扑结构.它具有点传递性、边传递性、极大点(边)连通性、且有较小的直径和平均距离等好性质.与超立方体、星图相比较,它还具有点(边)容错的哈密尔顿连通性、泛圈性,而且还是泛连通的.本论文以交错群图AGn作为研究对象,研究其容错性质、故障诊断度、子图可靠性分析.第一章作为本论文的预备知识,主要介绍图论和组合网络理论
当我们在为互连网络设计和选择拓扑结构的时候,可靠性是评估网络性能的一个重要测度.高可靠性永远是网络设计者所追求的重要目标之一.处理器故障诊断在测量大规模处理器系统的可靠性方面发挥了重要的作用,许多著名的大规模处理器系统的诊断度已经有了详细的研究.在绪论中,描述了本文的研究背景和动机,介绍了系统级故障诊断理论以及一些应用领域.第一章,首先介绍了有关图论与组合网络理论的一些基本知识和记号以及基于比较的
最优化问题是数学规划中的一个重要的课题.在工程、信息技术以及经济均衡等领域都有很多应用.而拟牛顿法又是求解最优化问题的一类非常有效的方法.本文的主要工作是探讨无约束优化问题的数值方法.绪论,简单介绍了拟牛顿法、非单调算法、信赖域方法以及共轭梯度法的理论以及算法的发展.第一章,我们研究了求解无约束优化问题的一种非单调BFGS信赖域方法.对于该方法应用了一种非单调搜索技术,从而减少对函数值的要求,使得
当代的景观是大自然演变与人类经济社会发展的共同产物,是人与自然关系的综合体现。人类在推动景观发展的过程中,只注重社会经济效益,而忽略生态环境保护,就有可能引发全球性的生态环境问题。从经济学的角度上看,景观作为公共物品,在大部分情况下具有非竞争性与非排他性,极容易引发负外部性。因此,为了使人类拥有一个更好的生存与发展环境,我们应该在景观发展中注重生态环境保护。另一方面,在生态环境的合理利用及其规划中
这一篇硕士论文研究了两类带凹凸项的微分方程解的存在性和多解性问题,主要运用的基本变分方法:山路引理,对称山路引理,喷泉定理,对偶喷泉定理等.本文首先考虑了一类带凹凸项的脉冲方程的边值问题:其中0=t0