目前，柔性衬底薄膜太阳电池因为其较高的重量比功率等优势受到广泛关注。对于实验室制备的太阳电池，需要对其性能进行全面掌握，太阳电池的光谱响应可以用来表征太阳电池对入射的太阳光不同波段的吸收能力，太阳电池的外量子效率就是其光谱响应的表征。　　 本文首先介绍了太阳电池量子效率的基本概念，结合太阳电池的基本工作原理，通过相应的理论计算得出了在现有实验条件下，实验室制备的聚酰亚胺衬底上的倒结构单结非晶硅薄膜太阳电池量子效率测量的基本方法。运用氙灯、单色仪、数据采集器、计算机等设备，通过波长的自动扫描对样品太阳电池的外量子效率曲线进行测量；最终通过分析太阳电池外量子效率测量曲线，研究太阳电池的各个组成部分对其性能造成的影响。　　 在对太阳电池样品外量子效率曲线的分析中，发现本征层的吸收性能是影响其值变化的主要因素，结合太阳电池的制备工艺，本征层沉积参数的变化会对其吸收性能造成相应的影响，因此首先考虑寻求较佳的本征层制备参数，论文中给出了衬底温度和沉积压强的变化对外量子效率曲线造成的影响；随后对本征层的厚度进行了研究，发现在一定厚度范围内，适当的减薄本征层的厚度，会使得太阳电池外量子效率值得到一定提高；最后研究了太阳电池其它组成部分对太阳电池外量子效率值可能造成的影响，包括优化I/P buffer的性能，选择新型纳米P材料作为窗口层，增大背电极的粗糙度，选择用掺镓氧化锌透明导电膜作为阻挡层以及选择合适的面电极的厚度等。　　 通过对太阳电池外量子效率值的分析研究最终得出实验室制备太阳电池的较佳的制备参数，在聚酰亚胺衬底上制备出效率为7.09％非晶硅薄膜太阳电池。