LD泵浦全固态紫外激光器的研究

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LD 泵浦全固态激光器从二十世纪八十年代以来获得长足的进步,紫外激光器因其在人眼安全波段,光刻的主要光源等重要应用,一直以来就是人们研究的热点。LD 端面泵浦的全固态紫外激光器效率高、结构紧凑、光束质量好等优点而取代准分子激光器成为研究热点。作者也在紫外方面从理论和实验方面进行了深入细致的研究: 在被动调Q 理论的指导下,充分考虑了被动调Q 晶体Cr:YAG 的激发态吸收效应对脉冲激光器性能的影响,延伸了Degnan 的被动调Q 优化理论,直接给出了优化设计过程中我们最关心的被动调Q 晶体的小信号透过率与输出耦合镜的透过率关系,简化了设计程序。在高斯光束倍频理论的指导下,改进了传统的聚焦方式,使结构更为紧凑下,获得了更高的紫外功率输出,并且该结构可同时满足三倍频,四倍频的要求。在连续紫外的研究中,充分考虑到激光器输出镜的最佳透过率与倍频转换效率之间的关系,详细了计算了一定泵浦功率时的输出镜最佳透过率,并由此优化倍频晶体长度。设计了一台高性能的脉冲1064nm 红外激光器,单脉冲运转,在输入泵浦为14.5W 的时候,峰值功率高达10kW 以上、脉宽10ns、脉冲能量为100μJ 且脉冲序列稳定,单脉冲输出。腔外一次聚焦,两次频率变换,获得了340mW 的355nm脉冲输出,290mW 的266nm 脉冲输出,均为同等情况下国内所见报道的最好结果。采用简单的两镜腔结构,将二倍频、三倍频频率变换晶体同时放在腔内,还实现了355nm 连续激光的输出,在泵浦功率为5.6W 的时候,输出功率高达15mW,这是目前报道的最好结果。
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