【摘 要】
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本文以TS2100超声键合机换能系统为主要研究对象，以阻抗分析仪和激光多普勒测速仪为测量仪器，针对换能系统劈刀和肋环夹持等因素的影响，对换能系统进行了较为系统的研究，包括换能系统电学导纳特性，换能系统俯仰方向的低频振动特性等；并对超声键合过程中键合压力及谐振频率等特性进行了研究。主要内容如下：(1)讨论了换能系统电学导纳圆图，利用实测导纳圆计算等效电路各特征参数。使用以阻抗分析仪为基础的超声键合换
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本文以TS2100超声键合机换能系统为主要研究对象，以阻抗分析仪和激光多普勒测速仪为测量仪器，针对换能系统劈刀和肋环夹持等因素的影响，对换能系统进行了较为系统的研究，包括换能系统电学导纳特性，换能系统俯仰方向的低频振动特性等；并对超声键合过程中键合压力及谐振频率等特性进行了研究。主要内容如下：(1)讨论了换能系统电学导纳圆图，利用实测导纳圆计算等效电路各特征参数。使用以阻抗分析仪为基础的超声键合换能系统电学导纳特性测量系统，测得换能系统自由状态无劈刀时20kHz～100kHz范围内
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