微机电系统是一项革命性的高新技术产业,在军事领域、航空航天、生物医学等领域都具有潜在应用,倍受各国政府和专家的高度重视。微执行器作为构成微机电系统的元件之一,是微机电系统的核心部分,是微机电系统的操作和执行单元,用于提供微机电系统所需的动力。其中,静电驱动微执行器是应用最广泛的执行器之一。在静电驱动的微执行器中,Pull-in现象是限制执行器行程范围的一个重要因素,其包括静态和动态两种。另外,在微器件尺寸影响因素中,阻尼效应对于Pull-in参数影响显著,器件的尺寸越小,阻尼效应的影响越大,对微器件的工作效率造成了一定的影响。在微执行器的制造中,为了减小阻尼,提出了穿孔板的设计概念,因此本文基于穿孔板结构,研究微执行器的Pull-in现象。本文使用Matlab和ANSYS仿真软件作为辅助工具,对两端固支穿孔板静电微执行器结构进行静态和动态特性分析,得到Casimir力、压膜阻尼、品质因数等因素对Pull-in参数的影响。研究表明:不考虑微观尺寸时,空气压膜阻尼效应的存在会导致动态Pull-in电压增大,Pull-in位移减小;考虑微观尺寸时,由于Casimir力的存在,Pull-in电压和Pull-in位移均会减小,并且当微执行器尺寸小到一定程度,即使不施加静电力,微执行器也会发生Pull-in现象。