Delta-Sigma调制器因为具有高精度、高线性度、对电路非理想特性不敏感等优点,在各类半导体传感器以及MEMS传感器中的应用越来越普遍。为了实现传感器系统的微型化与便携化,需要设计出小尺寸、低功耗的Delta-Sigma调制器。本文对可以应用于传感器接口电路的低功耗Delta-Sigma调制器进行设计实现。首先是对Delta Sigma调制器低功耗设计技术的发展进行调研,着重研究了几种常用的Delta Sigma调制器低功耗设计技术。再将多种调制器结构从功耗、信噪比、电路设计的复杂程度方面进行对比,最终决定采用使用运算放大器共享技术的单环四阶一位量化Delta Sigma调制结构进行本文的调制器设计。这种结构各级积分器输入输出摆幅较低,对电路非理想特性不敏感,适宜在低功耗设计中使用。调制器的核心模块——四级积分器,采用的是开关电容积分器,并使用运算放大器共享技术,使积分器中的运放不存在被“闲置”的情况,减少调制器中运算放大器的使用个数,达到了降低功耗的目的。调制器系统的采样频率为3.072MHz,过采样率为128,信号带宽为12kHz。采用SMIC 65nm CMOS工艺进行Delta-Sigma调制器的版图设计,遵循自上而下-自下而上的设计原则进行版图设计。版图后仿真结果表明:在输入信号幅度为0.1V,频率为3.3734kHz时,Delta-Sigma调制器的噪底在-100dB左右,SNDR为90.2dB,功耗为503.57?W,满足设计要求。