【摘 要】
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膜基界面结合强度是表征薄膜质量的重要指标，是薄膜技术研究与应用中的关键技术。红外激光准静态划痕法是一种非接触测量硬质薄膜基体界面结合强度的新型检验方法。其原理是利用长脉冲激光准静态加载涂层试样的薄膜表面，引起薄膜与基体的脱粘和薄膜破坏，同时工件相对于激光做进给运动，用膜基界面破坏时的激光参数结合检测参数和膜基材料的物性参数来表征界面的结合强度。论文首先分析了激光划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的
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膜基界面结合强度是表征薄膜质量的重要指标，是薄膜技术研究与应用中的关键技术。红外激光准静态划痕法是一种非接触测量硬质薄膜基体界面结合强度的新型检验方法。其原理是利用长脉冲激光准静态加载涂层试样的薄膜表面，引起薄膜与基体的脱粘和薄膜破坏，同时工件相对于激光做进给运动，用膜基界面破坏时的激光参数结合检测参数和膜基材料的物性参数来表征界面的结合强度。论文首先分析了激光划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程。根据加载激光的工艺参数以及薄膜、基体的材料特性，基于傅立叶热传导方程，建立
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