【摘 要】
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精密、超精密技术的发展日益进步,对气浮垫的刚度、精度及稳定性都提出更高的要求。由于气体的可压缩性,对提高气浮垫性能的研究带来很大的困难,因此,研究气浮垫的刚度及稳定性是气浮垫研究领域的难点问题。本课题组在前期通过用弹性薄板来实现可变均压槽、可变节流器复合作用的方法对新型气浮垫进行研究,并发现用弹性薄板来实现可变均压槽的结构的气浮垫,其在静态性能(即刚度和承载力)上明显要强过刚性均压槽气浮垫。本文所
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精密、超精密技术的发展日益进步,对气浮垫的刚度、精度及稳定性都提出更高的要求。由于气体的可压缩性,对提高气浮垫性能的研究带来很大的困难,因此,研究气浮垫的刚度及稳定性是气浮垫研究领域的难点问题。本课题组在前期通过用弹性薄板来实现可变均压槽、可变节流器复合作用的方法对新型气浮垫进行研究,并发现用弹性薄板来实现可变均压槽的结构的气浮垫,其在静态性能(即刚度和承载力)上明显要强过刚性均压槽气浮垫。本文所研究气浮垫是以工程应用为最终目的来研究的,在此基础上本论文选择以弹性均压槽气浮垫作为
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