氮等离子体分子转动温度的计算

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【摘要】

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该文在Phllips理论的基础上分析ICP(Inductively Coupled Plasma,电感耦合等离子体)放电发射光谱中不可分辨的氮二正系列1-4"跃迁的振动波带(分辨率约为8埃),通过拉格朗日插

【作者】

：

黄德佼

【机构】

：

北京理工大学

【出处】

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北京理工大学

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

氮等离子体转动温度电子碰撞激发

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该文在Phllips理论的基础上分析ICP(Inductively Coupled Plasma,电感耦合等离子体)放电发射光谱中不可分辨的氮二正系列1-4"跃迁的振动波带(分辨率约为8埃),通过拉格朗日插值法计算氮等离子体分子的转动温度随等离子体参数如气压,功率的变化关系.我们发现ICP等离子体的转动温度随着反应腔体气压和RF(Radio Frequency,射频)功率的增加而升高.

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