AlGaN基深紫外发光二级管电子阻挡层横向优化设计

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AlGaN基深紫外发光二极管(DUV-LED)是一种新型固态光源。当前的研究课题大多只关注器件纵向结构而忽略横向优化对DUV-LED性能提升的重要性。本文提出电子阻挡层(EBL)横向阶梯式和渐变式优化设计并辅之以量子垒P型掺杂结构,以提升DUV-LED发光性能。主要工作包含以下几个部分:(1)引入横向阶梯式EBL结构,研究该结构对器件发光性能的影响。横向阶梯式降低电子阻挡层Al组分可以有效抑制有源区电子泄漏,提升有源区空穴注入;器件的光输出功率(LOP)与传统结构相比最大可提升16.7%,内量子效率以及效率衰退也明显优于传统结构。(2)在横向阶梯式EBL的基础上引入量子垒P型掺杂的组合优化结构。对靠近P型区的五层量子垒进行P型掺杂,DUV-LED的光输出功率与内量子效率都有显著的提升。量子垒掺杂浓度也会对器件发光性能造成影响,在掺杂浓度为5×1018 cm-3时器件的发光性能最优,此时LED内部空穴浓度得到大幅提升,有源区内极化电场也随之降低。(3)提出横向渐变式降低DUV-LED电子阻挡层Al组分的新型结构。相对于横向阶梯式EBL,横向渐变式EBL可以降低量子垒导带有效势垒高度,提升有源区的电子浓度,并且量子阱区的极化效应也比横向阶梯式优化结构有更大的改善。器件的输出功率相对于传统结构和横向阶梯式优化结构分别有74.7%和50.6%的提升,其内量子效率也有极大改进,最大内量子效率提升到51.8%,效率衰退降低至22%。DUV-LED电子阻挡层的横向优化有效改善了器件内部的载流子浓度以及极化效应等,明显提升了器件光输出功率及内量子效率。本文工作为深紫外LED的设计优化提供一套新的思路。
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