微细电解加工技术是一种非接触式加工技术,利用金属在电解液中发生阳极溶解的原理对金属工件进行成型加工。加工过程以离子形式进行,具有较高的加工精度,且不存在加工应力;生产效率高、经济性好,对于微型零件和微细结构的加工具有十分重要的意义。本文提出了基于电容和电阻的新型可控脉冲电解加工方法,通过调节外部电容和电阻来实现对加工电位的控制,从而提高加工精度,同时降低了加工成本;针对微细电解加工的特点设计并研制出实验设备,通过自建平台进行相关实验,验证了本文所提出的新型电解加工方法的可行性。进行了实验设备的设计、搭建与调试;建立了工具电极的加工模型,对加工过程进行了理论分析。通过实验对各个工艺参数进行分析、优选,选出适合进行电极制备的参数组合,在自制设备上进行了工具电极的制备。完成了基于电阻的可控脉冲电解加工实验。建立了基于电阻的加工电路模型,推导了加工精度表达式;进行了电阻对于电解加工精度影响的理论分析。改变电阻值加工微孔、微槽和微梁结构,对比不同电阻下的实验结果,进行了参数最优选择。进行了基于电容的可控脉冲电解加工实验。建立了基于电容的电解加工模型,进行了双电层电压和加工精度表达式的推导以及理论分析。通过实验研究了各加工参数之间的相互关系,测定了分解电压等重要参数。研究了电解液、电压、加工时间等参数对加工结果的影响,选取最优参数组合进行了微孔、微槽以及微梁的加工实验。进行了基于电容的可控脉冲电解3D铣削加工实验。对加工方法进行了一系列改进,在镍片上进行了分层铣削,最终加工出整齐、规则的方形三维凸台结构。通过将文中的实验结果与普通电解加工结果进行对比,证明了本文所提出基于电容和电阻的可控脉冲电解加工方法的优越性。