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薄膜,尤其是金属薄膜,由于其卓越的电学、光学和力学等特性,在各个应用领域中的地位越来越重要。薄膜的性质不仅与材料属性有关,而且很大程度上取决于其厚度和表面结构,特别是具有微观效应的纳米级金属薄膜。因此,准确地测量薄膜的厚度对于深入研究薄膜材料的各种性质非常重要。为了实现对纳米级金属薄膜厚度的高分辨力测量,论文在分析常用金属薄膜厚度检测方法特点的基础上,重点围绕表面等离子共振(SPR)效应检测金属薄膜厚度参数的方法展开研究工作,主要基于实验室的研究基础和前期成果,就差分式相位SPR测量方法开展研究,即