基于ZnO薄膜的非晶硅太阳电池的研究

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【摘要】

：

面对全球能源短缺、环境污染等难题,太阳光伏发电是其有效解决途径之一,因此研究低碳、高效太阳电池迫在眉睫。本课题根据太阳电池材料特性,考虑材料成本、环保、耗能以及提高太阳电池效率等因素,探索研究新型太阳电池材料,制备出AlN:Mg/a-Si:H/ZnO:Al、NiO/a-Si:H/ZnO:Al两种结构的太阳电池。本文内容与结论如下：1.直流磁控溅射法反应溅射AlN:Mg薄膜、射频磁控溅射ZnO:Al

【作者】

：

赵启义

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2012年01期

【关键词】

：

ZnO：Al薄膜 AlN：Mg薄膜 NiO薄膜太阳电池

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