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三坐标测量机广泛应用于生产制造和检测计量中,对其精度要求也越来越高,因此对测量机的误差检测就显得尤为重要。坐标测量机的误差源纷繁复杂,当前主要研究的是其几何误差,课题中研究了一种采用二维激光干涉仪和四象限光电探测器相结合的测量方法,对三坐标测量机的21项几何误差进行了准确、简便、快速的测量,摆脱了线位移法测量直线过多且包含多条对角线测量的弊端,同时也解决了一维球列和球板不方便检测的大型测量机的误差检测问题。测量中在坐标测量机测量空间内任意选择一个测量子空间OXYZ,用二维激光