微细加工技术是在微观领域相对于传统加工技术而产生的一种新型加工技术,在精密仪器、微小模型、航天、首饰、汽车领域和范围内有着广泛的应用,微型零件在体积和形态微小化设计目标的驱动下,展开了广泛的研究,这些研究主要集中在微型零件的制备方法和工艺、芯片的集成以及半导体材料的形成过程等方向。本文通过实验获得微型零件,分析了不同参数的零件形态和模型,并对零件的各项性能和参数进行了检测和验证。通过调控钴和石墨烯的含量来改善材料的性能,在零件的尺寸精度、强度、刚度、耐磨性及耐腐蚀性等性能方面取得了一定的突破。通过光刻技术使用SU-8光刻胶和掩模版制作微型胶膜,然后采用电铸技术得到微型齿轮、连杆等零件,通过调整微电铸过程中钴和石墨烯的含量,分析其对材料或零件的抗腐蚀性和耐磨性的影响。电铸实验装置得到厚度为400μm的纯镍和镍钴石墨烯微型零件,SEM扫描电镜表征零件的形貌特征,利用XRD衍射仪观测整体微型零件的物相,测量其晶粒尺寸,并进行计算。运用显微硬度仪测量了微型齿轮的硬度值,并对硬度分布值作了测试。与纯镍微型零件相比,课题采用光刻工艺和微电铸工艺相结合,有效制备了镍-钴-石墨烯、镍-钴微型零件,通过控制钴与石墨烯的含量能够影响微型零件的耐磨性、硬度和抗腐蚀性能以及表面质量,为高性能复合材料微型零件的制备提供一种方法。