光纤干涉条纹投射相位测量轮廓术关键技术研究

被引量 : 0次 | 上传用户:lxl0003
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
光学三维形貌测量技术在自动测试和品质保证、CAD/CAM、逆向工程、疾病诊断、服装订制及视觉导航等领域中有着重要的应用,是质量检测、生物医学以及纳米技术等方面进行科学探索的重要手段。本文研究基于杨氏双孔干涉原理的光纤干涉条纹投射相位测量轮廓术,实现高精度正弦条纹投射,针对光纤干涉臂相位差易受环境干扰,使得投射条纹相位波动,进而影响测量精度的问题,通过对光纤干涉臂相位差的精确测量与控制实现投射条纹的相位稳定和相移,分别通过傅里叶变换轮廓术和相移轮廓术实现对物体表面的全场高精度非接触动、静态测量。实验证明光纤干涉条纹投射相位测量系统相移精度高,相移速度快,适于高精度三维形貌测量。主要研究内容如下:1.利用马赫泽德干涉仪结构及杨氏双孔干涉原理实现光纤干涉条纹投射;建立光纤干涉条纹投射的三维形貌测量模型,并考虑光纤干涉臂相位差对该模型的影响;分析光纤干涉投射条纹相位波动的原因,包括背向散射光对激光器输出波长影响,光纤偏振敏感性,环境温度变化对光纤干涉臂相位差的影响等,实验验证,环境温度变化对光纤干涉臂相位差的影响是条纹相位波动的主要原因。2.为解决光纤干涉臂相位差易受环境干扰进而带来投射条纹相位波动的问题,提出利用光纤端面的菲涅尔反射干涉信号、压电陶瓷外调制技术等实现光纤干涉臂相位差的精确测量与控制,进而实现投射条纹相位的稳定与相移。建立了光纤干涉臂相位差的控制系统模型,对相关系统参数进行标定,实现了基于直流相位跟踪的光纤干涉臂相位差稳定系统。3.提出一种采用交流小相位光纤相位调制技术,结合光纤端面菲涅尔反射干涉信号的解调,实现光纤干涉投射条纹相位的精确测量控制方法,从而实现高精度闭环步进相移。提出通过光纤端面菲涅尔反射干涉信号谐波抑制比来估计条纹相移精度的方法。4.提出旋转矩形窗选择算法实现二维傅里叶变换相位轮廓术中带通窗口的自动选择方法,克服了光学系统变化引起的条纹密度和条纹方向的变化;结合基于DCT的最小二乘相位解包裹算法实现物体表面相位快速自动化测量,使得整个傅里叶变换轮廓术算法复杂度为O(nlogn);对于400×400像素图像,整个测量时间优于200ms。5.对条纹图像处理进行研究,通过软件算法的优化,分析和提出多种条纹图像滤波方法和相位解包裹算法,研究任意步距步进相移轮廓术算法等。
其他文献
在水热条件下基于5-羧基-1-(4-羧基苄基)-2-氧吡啶(H2L)合成了7种配位聚合物,分别为:[Zn(L)(biim-4)]·3H2O (1)、[Co(L)(biim-4)0.5](2)、[Zn(L)(btpy)]·1.75H2O·0.25EtOH (3)、[Co(L)(btpy)](4)、[Cd3(L)2
十八届四中全会确立了全面推进依法治国的根本方向,"法治"将是我国未来发展进程中最为重要的课题之一,法治不仅是宪法法律的完善,更是治国手段和思想观念,对国家之政治体制将
作为未来的幼儿园教师,学前教育专业学生必须形成良好的音乐教育素养和培养技能。根据学前教育专业培养目标的要求,教师需要对所开设的音乐课程加以优化整合,在加强对学生进
目的探讨冠心病心律失常患者应用动态心电图的诊断价值。方法抽取2010年1月至2016年12月在我院诊治的500例冠心病心律失常患者为研究对象,遵入院顺序分为甲组和乙组,每组250
微流控芯片检测器的作用是测定被分析样品经微流控芯片系统分离或处理后有关组份的组成及其含量。检测器的总体性能将影响整个微流控芯片分析系统的检出限、检测速度、适用范
在高中数学教学中应用变式教学,可以有效提升课堂教学效率、增强教学效果,提升学生的数学综合能力和逻辑思维能力。文章在阐明变式教学的基本概念和价值的基础上,结合教学典
具有生物和化学活性的C3-吲哚衍生物如3-吲哚甲醇、3,3-二吲哚甲烷、3-甲基吲哚等等都得到工业、农业和医药等各个领域的关注和重视。其中,3-甲基吲哚不仅是有机合成活性中间
自社会转型以来,我国教育运行系统中的利益相关者逐渐建立了双重多层委托-代理关系。从委托-代理主体的角度看,社会公众、政府、学校、教师形成了一条委托-代理链;从委托-代
随着我国人工生育技术的不断发展与适用范围的扩大,人工生育子女的法律地位问题日益凸现,引发了一系列社会问题,也引起了人们关于伦理道德的思考。关于我国人工生育子女的法
  利用光电旋转编码器产生高速脉冲,引入PLC高速计数器端进行计数,利用PWM变频调速,设计电梯控制系统。该系统确定电梯理想运行速度和加速度曲线,实时计算电梯的楼层位置、平层