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基于虚拟切片的三维无损测量装置由测量系统和控制系统组成。其中测量系统主要由精密进给机构、测力机构、配重调平机构和定位装夹机构组成,控制系统由上位机和下位机部分组成。我们把整个系统的误差分为测量系统误差和控制系统误差,并对整个系统的误差进行了分析和研究,为提高和改进系统精度提供了重要的依据。本论文以基于虚拟切片的三维无损测量装置产生的误差为主线,从测量系统误差和控制系统误差两个方面,对整个系统的误差进行了分析与研究。首先,研究了测量系统的误差组成,通过实验和理论详细分析了精密进给机构、测力机构、配重调