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本文结合国家自然科学基金项目《压电流体惯性驱动器的基础理论及关键技术研究》(项目编号:51205369)的研究,以共振原理为基础,通过调节输入电信号的频率、电压来实现对隔膜泵的精确控制,近年来主要应用在药物输送、燃料供给、化学分析与检测等领域。虽然在工业生产领域隔膜泵的实际应用越来越广,但是在一些特殊应用场合对隔膜泵的外形尺寸与输出性能方面提出了更高的标准。隔膜泵主要分为电磁隔膜泵和压电泵两类,他们有着各自的优缺点,在市场上的应用也受到了限制。目前,在压电共振隔膜泵的研究中,对驱动元件压电振子采用中