电子产品的发展正朝着高集成度方向发展,对电子产品表面提出了更严格的要求,如晶片晶圆的面型精度、表面质量等直接影响其品质是否合格。为此,研究用于电子产品表面损伤（裂痕、划痕）的微探针检测装置成为一种必须要解决的技术问题。在研究国内外微探针检测系统相关技术的基础上,本文基于构建的双频激光外差干涉系统,对微探针系统进行了集成化设计。它包括微探针集成模块、双频激光模块、样品扫描台和数据处理模块。其中,微探针集成模块设计,利用了弹簧-螺杆结构实现微探针刚体姿态和角度的平滑连续调节,利用了一维位移柔性铰链机构,实现微探针在给定方向上的一维精密位移,同时,设计了微探针振动的压电陶瓷信号源,使其实现预设信号参数振动。这样,微探针模块作为光学元件和力传感器,能够实现微探针的光反射检测和准直控制以及微探针的激振和精密位移控制。对搭建的微探针系统进行了实验研究,首先对微探针系统双频激光光路进行了自检设计和准直调节,其次利用热噪声实验测试了系统微探针的固有频率,最后对微探针的力响应进行测试。同时,利用有限元方法对微探针振动模态和力响应等进行了仿真模拟,并对实验测试结果与仿真结果进行了比对分析,其共振频率分别为16.94k Hz和16.81k Hz,其力响应曲线线性度分别为0.97283和0.99996。实验和仿真结果表明微探针的振动和力响应基本一致,微探针模块集成化设计是合理可行的,能够利用微探针系统对物体表面划痕进行检测。