透明导电CuAlO<,2>薄膜制备和光电性质的研究

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【摘要】

：

CuAlO2 (CAO)透明薄膜是1997年Kawazoe等人通过新的材料设计思想,首次制备出的铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜。利用该薄膜已成功制作了透明的臭氧传感器和透明光电板等器件,显示了CAO有明确的应用前景。CuAlO2已经成为当前透明导电薄膜领域的研究热点之一。本文采用直流磁控溅射法用铜铝氧陶瓷靶制备出高质量的CuAlO2薄膜,用XRD、SEM、XPS和紫外可见、红外分光光度计等测

【作者】

：

汪立文

【机构】

：

重庆大学

【发表日期】

：

2007年05期

【关键词】

：

直流磁控溅射 CAO薄膜光电性质

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