目前重大装备制造技术正朝着大尺寸、高精度的方向发展,主要涉及到航空、航天、大型船舶及机电设备、大型科研设备的制造、装配和运行监控等领域。空间坐标测量技术作为重大装备制造与装配的重要支撑技术,受到人们的广泛关注。其中绝对距离测量作为上述技术的核心和基础,具有重要的研究意义。激光因其具有好的方向性、单色性、相干性和高精度等优点,被广泛应用于测距领域,近年来,光频扫描干涉(OFSI)测距技术作为一种新型的激光测距技术,弥补了传统干涉测距仅适用于增量式测量,且存在模糊范围的缺点,具有能够在大范围内实现灵活可靠的高精度绝对距离测量的潜力。本文针对OFSI绝对测距系统的关键技术进行了研究,主要研究内容如下:1、在分析OFSI测距基本原理的基础上,对比了相位测量方法和拍频测量方法的优缺点;基于拍频测量和傅里叶变换推导了系统的测距分辨率;分析了提高频率分辨率的方法,选取线性调频z变换(CZT)对干涉信号的频谱进行局部细化,提高拍频的测量精度;重点分析了调频非线性、目标漂移误差以及光的色散等因素对OFSI测距精度的影响。2、针对调频非线性对干涉信号频谱展宽的影响,提出了基于双干涉光路的等光频采样方法,利用辅助干涉信号作为触发采样的时钟信号,对测量干涉信号进行重采样,消除非线性调频对测量结果的影响,提高了测距精度同时降低了该方法对激光器的性能要求。3、通过分析目标漂移对最终测量精度的影响,根据多普勒频移方向和运动方向相一致的特点,设计了基于光频三角波扫描漂移误差补偿方法,分别测量在光频上扫和下扫情况下干涉信号的拍频,利用平均原理消除目标漂移误差。并设计对比实验验证了该方法的可行性。4、利用外差相位测量技术和光纤PZT相位补偿原理,设计了基于PID控制的长光纤锁定系统,提高了辅助干涉系统参考长度的稳定性,从而提高OFSI绝对测距的精度。