柔性基底d33模式压电俘能器研究

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【摘要】

：

传统的硅基MEMS压电俘能器具有体积小、集成度高、转换效率高等特点,可以方便地嵌入到微型移动设备内部并为其提供所需能量。为了克服表面叉指电极d33模式悬臂梁振动俘能器中存在的压电材料极化不完全、存在弯曲电场和硅基俘能器不适宜应用在冲击或剧烈的振动等大应变场合等问题,主要提出了一种电极贯穿于整个压电层的柔性不锈钢基底全d33模式悬臂梁振动俘能器。建立了全d33模式悬臂梁结构压电俘能器的机电耦合模型,

【作者】

：

杨淑

【机构】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2015年05期

【关键词】

：

压电俘能器叉指电极 d33模式柔性基底

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