随着移动互联网的快速发展,IC产业在国内也得到了迅速发展,从而对于IC设备的需求也日益增加。但是国内的设备主要依靠进口,同时,高端设备对我国禁运,从而导致成本增加。因此,展开对高速高精度平面定位平台的研究具有深远的战略意义。本文首先通过对现有的高速高精度机构进行分析研究,依据半导体封装设备的任务要求及技术指标,采用一种适应于高速高精场合的平面2自由度并联机器人。采用闭环矢量法对机构的运动学进行详细地分析推导,得到其正解及逆解,在此基础之上,对机构的速度及加速度特性进行研究,根据其任务要求规划定位平台的速度加速度,并分析定位平台的工作空间。基于雅克比矩阵对高速高精度平面定位平台的灵巧度和奇异性等运动学特性进行研究,分析机构的奇异特性,为后期规避奇异位型做理论基础。基于雅克比矩阵建立灵巧度的性能指标,研究不同构型下定位平台的灵巧度分布特性,从而选择合适的机构构型。基于拉格朗日方法建立高速高精度平面定位平台的刚体动力学模型,并利用MATLAB进行数值仿真分析其动力学特性。在刚体动力学的基础上建立机器人的弹性动力学,并应用精细积分法求取末端定位平台的动态响应的数值解,研究定位平台的弹性变形对于定位精度的影响,并研究其固有频率特性,达到避开激振频率的目的。深入研究了混沌理论,并将其应用于机器人的参数优化。通过对现有的几种典型的混沌序列的遍历性进行比较研究,提出遍历性的指标,比较各个混沌序列的优劣性,选择适用于混沌优化的序列,对现有的混沌优化算法进行分析研究,分析其存在的缺陷,针对易陷入局部最优解及搜索空间不变等缺陷提出对应的改进措施,从而提高算法的准确性和效率,利用改进的混沌算法对机构的尺寸参数进行优化。