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该文扼要地介绍了SBTT的工作原理.通过使用蒙特卡罗器件模拟软件模拟了SBTT的特性.在实际的模拟过程中,使用了全能带描述能带结构,通过引入自散射来提高处理散射过程的效率.提出了可用于蒙特卡罗器件模拟的金属/半导体接触隧道电流的直接隧穿模型.在自主开发 的基于蒙特卡罗方法的器件模拟工具的基础上,加入金属/半导体接触肖特基势垒的直接隧穿模型,研究了沟道长度为亚0.1微米的SBTT的特性.在模拟的过程中分析了源漏肖特基势垒高度、衬底掺杂浓度、栅氧化层厚度、源汛硅化物深度等参数对SBTT特性的影响.模拟了采用SOI SBTT结构器件的特性.