【摘 要】
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本文提出并设计了一种全新结构的垂直腔面发射激光器:新型分布孔结构垂直腔面发射激光器。新型结构克服了原有VCSEL发射功率低,大电流注入时发热量大等缺点,改善了器件的热特
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本文提出并设计了一种全新结构的垂直腔面发射激光器:新型分布孔结构垂直腔面发射激光器。新型结构克服了原有VCSEL发射功率低,大电流注入时发热量大等缺点,改善了器件的热特性和输出特性,减小了p-DBR热阻。生长了所需新结构VCSEL的外延片,通过对刻蚀、氧化以及欧姆接触等工艺的优化和设计,制作了新型分布孔面发射激光器。经测试单管最低阈值电流为1.8mA,输出功率达到7.96mW,其输出功率是传统结构的1.3倍左右。
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