LIGA技术研究

来源 :中国科学院高能物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxj3918

【摘要】

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该论文对LIGA技术进行了较详细的综合论述,给出了许多研究成果.包括了掩模的制造, 同步辐射性能,深度光刻技术,深度电铸技术等.LIGA技术是一项复杂的技术 ,仅掩模的制造就包

【作者】

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伊福廷

【机构】

：

中国科学院高能物理研究所

【出处】

：

中国科学院高能物理研究所

【发表日期】

：

2000年期

【关键词】

：

LIGA技术 MEMS技术微细加工技术同步辐射光刻微结构技术

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该论文对LIGA技术进行了较详细的综合论述,给出了许多研究成果.包括了掩模的制造, 同步辐射性能,深度光刻技术,深度电铸技术等.LIGA技术是一项复杂的技术 ,仅掩模的制造就包含真空镀膜技术、光刻技术、电镀技术、刻蚀技术等.在开展LIGA技术研究的同时,进行了微结构产品的设计和制造,并结合实际器件加工中的需要,创造性地提出了上牺牲层技术、上表面套刻技术、悬空微条气体室探测器.

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