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本学位论文在LaAlO_3单晶基底上采用无氟化学溶液沉积法制备了YBCO超导薄膜。YBCO薄膜最终的材料结构、超导电性与处理工艺中的各项参数直接相关。本文研究了升温速率、保温时间、水分压、热处理温度、旋涂参数等对薄膜结构与性能的影响。DSC-TG探得前驱胶体的溶剂失重温区和羧酸盐溶质的分解温区;XRD 2θ扫描证实薄膜具有高度一致的C轴生长取向;SEM图像证实薄膜微观形貌致密无孔洞、无偏析;台阶仪探针法结合薄膜断面的二次电子像和背散射电子像探得薄膜成相前后的厚度变化;MPMS磁测量证实薄膜具有85K