初中物理课程改革中评价方式的转变

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基于原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)的机械刻划是一种加工纳米结构的有效方法,学者们运用该加工方式已经在多种材料如聚合物、金属表面加工出了精细的二维甚至三维结构。然而受限于AFM针尖的硬度,其在硅表面进行加工时容易急剧磨损,且深度尺寸难以得到保证。因此本文利用AFM针尖在聚合物掩膜上进行纳米结构的加工,并通过反应离子刻蚀(Reactive Ion Etching
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