论文部分内容阅读
用光声激光偏转（OLD）测量了强TEA CO2脉冲激光辐照SiH4-H2系统产生等离子体淀积（LPCVD）硅薄膜过程中的激波效应,证明激光击穿SiH4诱发的激波效应是LPCVD中基本的气体动力学过程,并讨论了激波对膜生长的影响。
OLD诊断SiH4的LPCVD动力学过程
【摘 要】
：
用光声激光偏转（OLD）测量了强TEA CO2脉冲激光辐照SiH4-H2系统产生等离子体淀积（LPCVD）硅薄膜过程中的激波效应,证明激光击穿SiH4诱发的激波效应是LPCVD中基本的气体动力学过程,
【机 构】
：
河北大学物理系; 河北大学物理系;
【出 处】
：
中国激光
【发表日期】
：
1987年11期
其他文献
QEMU是一款非常流行的使用动态二进制翻译技术并支持多源多目标翻译的二进制翻译器。但是QEMU在支持精确异常方面仍存在不足,具体表现在当异常发生时,无法完全恢复到异常发生
ε-聚赖氨酸（ε-Polylysine简写ε-PL）是一种天然的微生物代谢产物,具有优良的抑菌作用,满足添加剂天然、安全的要求。鉴于ε-聚赖氨酸（ε-Polylysine）普遍公认的安全性（GRAS）和抑
采用螺旋波等离子体辅助溅射技术制备了自然掺杂及N-Al共掺杂ZnO薄膜,对两种不同类型掺杂薄膜的低温光致发光(PL)特性进行了研究。实验结果表明,二者均呈现出了较强的与受主
形状规则的微通道是微型反应器最重要的组件,而陶瓷、不锈钢和FeCrAl是制造微通道常用的材料。评述了3种材料在微型反应器中的选择和应用,并指出优缺点,同时分析涂层和催化剂
阿尔茨海默氏症(Alzheimer’s Disease,AD)是一种神经退行性疾病。它包括两个病理特征:淀粉样斑和神经纤维缠结。淀粉样斑的主要成分是淀粉样肽(Amyloidβ,Aβ),它由淀粉样肽
背景位于中国沿海的潮汕及福建闽南地区和位于北方内陆的太行山区,地理位置上相距较远,生活环境迥异,却同为我国的食管癌(Esophageal cancer,EC)高发区,而且具有相似的恶性肿
直肠前突症是临床难治性、多发性、常见性疾病,多发于中老年女性,以排便困难、肛门坠胀、排便不尽为主症,两种或两种以上疾病同时发生,较少单一发病,病程长,目前手术治疗方法
目的探讨大黄、芒硝混合外敷治疗腹部手术切口愈合不良疗效。方法100例手术后切口愈合不良患者,分为大黄芒硝外敷治疗组和常规局部清创换药对照组,观察两组切口愈合的疗效、
"中国风·母语美"小学语文教育改革探索以"探索展示母语之美的语文教育"为目标,坚持走母语教育民族化之路、母语教育儿童化之路、母语教育审美化之路。通过课堂教学改革、课